Ang high-purity gas piping nga teknolohiya usa ka importante nga bahin sa high-purity nga sistema sa suplay sa gas, nga mao ang yawe nga teknolohiya sa paghatud sa gikinahanglan nga high-purity nga gas ngadto sa punto sa paggamit ug sa gihapon mamentinar ang kuwalipikadong kalidad;Ang teknolohiya sa high-purity nga gas piping naglakip sa husto nga disenyo sa sistema, pagpili sa mga fitting ug accessories, pagtukod ug pag-instalar, ug pagsulay.Sa bag-ohay nga mga tuig, ang labi ka higpit nga mga kinahanglanon sa kaputli ug kahugawan nga sulud sa mga high-purity nga gas sa paghimo sa mga produkto nga microelectronics nga girepresentahan sa mga dagko nga integrated circuit naghimo sa teknolohiya sa piping sa mga high-purity nga gas nga labi nga nabalaka ug gihatagan og gibug-aton.Ang mosunud usa ka mubo nga pagtan-aw sa high-purity gas pipe gikan sa pagpili sa materyalof pagtukod, ingon man ang pagdawat ug adlaw-adlaw nga pagdumala.
Mga tipo sa komon nga gas
Klasipikasyon sa kasagarang mga gas sa industriya sa elektroniko:
Komon nga mga gas(Daghang gas）: hydrogen (H2), nitroheno (N2), oksiheno (O2), argon (A2), ug uban pa.
Espesyal nga mga gasmga SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ug uban pa.
Ang mga tipo sa mga espesyal nga gas sa kasagaran maklasipikar nga makadaotgas, makahilogas, masunoggas, masunoggas, inertgas, ug uban pa. Ang kasagarang gigamit nga mga gas nga semiconductor kasagaran giklasipikar ingon sa mosunod.
(i) Makadaot / makahilogas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…ug uban pa.
(ii) Pagkasunoggas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,Si CH3F, CO…ug uban pa.
(iii) pagkasunoggas: O2, Cl2, N2O, NF3… ug uban pa.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…ug uban pa.
Daghang mga semiconductor gas ang makadaot sa lawas sa tawo.Sa partikular, ang pipila niini nga mga gas, sama sa SiH4 kusog nga pagkasunog, basta ang usa ka pagtulo kusog nga motubag sa oxygen sa hangin ug magsugod sa pagsunog;ug ash3hilabihan ka makahilo, bisan unsa nga gamay nga pagtulo mahimong hinungdan sa risgo sa kinabuhi sa tawo, kini tungod sa mga dayag nga mga kapeligrohan, mao nga ang mga kinahanglanon alang sa kaluwasan sa disenyo sa sistema labi ka taas.
Sakop sa aplikasyon sa mga gas
Ingon usa ka hinungdanon nga sukaranan nga hilaw nga materyal sa modernong industriya, ang mga produkto sa gas kaylap nga gigamit, ug daghang mga sagad nga gas o espesyal nga gas ang gigamit sa metalurhiya, asero, petrolyo, industriya sa kemikal, makinarya, elektroniko, baso, seramiko, materyales sa pagtukod, pagtukod. , pagproseso sa pagkaon, tambal ug medikal nga sektor.Ang paggamit sa gas adunay hinungdanon nga epekto sa taas nga teknolohiya sa kini nga mga natad sa partikular, ug kini kinahanglan nga hilaw nga materyal nga gas o proseso sa gas.Lamang sa mga panginahanglan ug promosyon sa lain-laing mga bag-ong industriyal nga sektor ug modernong siyensya ug teknolohiya, ang mga produkto sa industriya sa gas mahimong maugmad pinaagi sa paglukso sa mga termino sa lainlain, kalidad ug gidaghanon.
Ang aplikasyon sa gas sa industriya sa microelectronics ug semiconductor
Ang paggamit sa gas kanunay nga adunay hinungdanon nga papel sa proseso sa semiconductor, labi na ang proseso sa semiconductor kay kaylap nga gigamit sa lainlaing mga industriya, gikan sa tradisyonal nga ULSI, TFT-LCD hangtod sa karon nga industriya sa micro-electro-mechanical (MEMS), tanan sa nga naggamit sa gitawag nga proseso sa semiconductor isip proseso sa paggama sa mga produkto.Ang kaputli sa gas adunay usa ka mahukmanon nga epekto sa paghimo sa mga sangkap ug mga abot sa produkto, ug ang kaluwasan sa suplay sa gas adunay kalabutan sa kahimsog sa mga kawani ug sa kaluwasan sa mga operasyon sa tanum.
Ang kamahinungdanon sa high-purity piping sa high-purity gas transport
Sa proseso sa stainless steel nga pagtunaw ug paghimo sa materyal, mga 200g nga gas mahimong masuhop kada tonelada.Human sa pagproseso sa stainless steel, dili lamang sa iyang nawong sticky uban sa lain-laing mga kontaminante, apan usab sa iyang metal lattice usab masuhop sa usa ka piho nga kantidad sa gas.Kung adunay pag-agos sa hangin pinaagi sa pipeline, ang metal mosuhop niini nga bahin sa gas mosulod pag-usab sa agianan sa hangin, nga makahugaw sa lunsay nga gas.Kung ang pag-agos sa hangin sa tubo wala’y hunong nga pag-agos, ang tubo nag-adsorb sa gas sa ilawom sa presyur, ug kung ang pag-agos sa hangin mohunong sa pag-agi, ang gas nga na-adsorb sa tubo nagporma usa ka pag-ubos sa presyur aron masulbad, ug ang nasulbad nga gas mosulod usab sa puro nga gas sa tubo. isip mga hugaw.Sa parehas nga oras, ang adsorption ug resolusyon gisubli, aron ang metal sa sulud nga sulud sa tubo nagpatungha usab usa ka piho nga kantidad sa pulbos, ug kini nga mga partikulo sa abog sa metal naghugaw usab sa putli nga gas sa sulod sa tubo.Kini nga kinaiya sa tubo hinungdanon aron masiguro ang kaputli sa gidala nga gas, nga nanginahanglan dili lamang usa ka taas nga kahapsay sa sulud sa sulud sa tubo, apan usa usab ka taas nga pagsukol sa pagsul-ob.
Kung ang gas nga adunay lig-on nga corrosive performance gigamit, ang corrosion-resistant nga stainless steel pipe kinahanglan gamiton alang sa piping.Kay kon dili, ang tubo makahimo og mga corrosion spots sa sulod nga nawong tungod sa corrosion, ug sa seryoso nga mga kaso, adunay usa ka dako nga lugar sa metal stripping o bisan perforation, nga makahugaw sa puro nga gas nga ipang-apod-apod.
Ang koneksyon sa high-purity ug high-cleanliness gas transmission ug distribution pipelines sa dagkong flow rate.
Sa prinsipyo, ang tanan niini welded, ug ang mga tubo nga gigamit gikinahanglan nga walay kausaban sa organisasyon sa diha nga welding gigamit.Ang mga materyales nga adunay taas kaayo nga sulud sa carbon gipailalom sa pagkamatuhup sa hangin sa mga welded nga bahin kung nagwelding, nga naghimo sa us aka pagsulod sa mga gas sa sulod ug sa gawas sa tubo ug makaguba sa kaputli, pagkauga ug kalimpyo sa gipasa nga gas, nga miresulta sa pagkawala sa tanan natong paningkamot.
Sa katingbanan, alang sa high-purity nga gas ug espesyal nga gas transmission pipeline, gikinahanglan nga gamiton ang usa ka espesyal nga pagtambal sa high-purity nga stainless steel pipe, aron mahimo ang high-purity pipeline system (lakip ang mga tubo, fitting, balbula, VMB, VMP) sa Ang high-purity nga pag-apod-apod sa gas nag-okupar sa usa ka hinungdanon nga misyon.
Kinatibuk-ang konsepto sa limpyo nga teknolohiya alang sa transmission ug distribution pipelines
Ang labi ka putli ug limpyo nga pagpasa sa lawas sa gas nga adunay piping nagpasabut nga adunay piho nga mga kinahanglanon o kontrol alang sa tulo nga mga aspeto sa gas nga madala.
Kaputli sa gas: Ang sulud sa kahugawan nga atmospera sa gGas kaputli: Ang sulud sa kahugawan nga atmospera sa gas, kasagaran gipahayag ingon usa ka porsyento sa kaputli sa gas, sama sa 99.9999%, gipahayag usab ingon ang gidaghanon sa ratio sa kahugawan nga atmospera nga sulud ppm, ppb, ppt.
Pagkauga: ang gidaghanon sa pagsubay sa kaumog sa gas, o ang kantidad nga gitawag nga basa, kasagaran gipahayag sa termino sa dew point, sama sa atmospheric pressure dew point -70.C.
Kalimpyo: ang gidaghanon sa mga kontaminant nga mga partikulo nga anaa sa gas, ang gidak-on sa partikulo sa µm, pila ka mga partikulo/M3 ang ipahayag, alang sa compressed air, kasagaran gipahayag usab sa mga termino kung pila ka mg/m3 sa dili malikayan nga solid residues, nga naglangkob sa sulod sa lana .
Klasipikasyon sa gidak-on sa pollutant: mga partikulo sa pollutant, nag-una nga nagtumong sa pag-us-os sa pipeline, pagsul-ob, kaagnasan nga namugna sa mga partikulo sa metal, mga partikulo sa soot sa atmospera, ingon man mga microorganism, phages ug mga droplet nga condensation sa gas nga adunay kaumog, ug uban pa, sumala sa gidak-on sa gidak-on sa partikulo niini. gibahin ngadto sa
a) Dagko nga mga partikulo - gidak-on sa partikulo labaw sa 5μm
b) Particle - materyal nga diametro tali sa 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro nga mga partikulo - gidak-on sa partikulo nga ubos sa 0.1μm.
Aron mapalambo ang paggamit niini nga teknolohiya, aron makahimo sa pagsabot sa pagsabot sa gidak-on sa partikulo ug μm nga mga yunit, usa ka hugpong sa piho nga kahimtang sa partikulo ang gihatag alang sa pakisayran
Ang mosunud usa ka pagtandi sa piho nga mga partikulo
| Ngalan / Gidak-on sa partikulo (µm) | Ngalan / Gidak-on sa partikulo (µm) | Ngalan/ Gidak-on sa partikulo (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Nukleyar nga sugnod 0.01-0.1 | Pagpintal 0.1-6 | Fly ash 1-200 |
| Carbon itom 0.01-0.3 | Gatas nga pulbos 0.1-10 | Pestisidyo 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakterya 0.3-30 | Abog sa semento 5-100 |
| Ang aso sa sigarilyo 0.01-1 | Abog sa balas 0.5-5 | Polen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pestisidyo 0.5-10 | Buhok sa tawo 50-120 |
| Crystallized nga asin 0.03-0.5 | Konsentrado nga abog sa asupre 1-11 | Balas sa dagat 100-1200 |
Oras sa pag-post: Hun-14-2022